材料科学与工程的发展
研究文章

材料与Multi-Ion物种等离子体聚焦离子束溅射

图17

所有图片的LR白色磨具有不同离子物种以不同的能量。面积在20保持不变µ米2。梁的当前值,请参考表1。所有图片与水平磁场捕获宽度为41.4µm。