材料科学与工程的发展
研究文章

材料与Multi-Ion物种等离子体聚焦离子束溅射

表1

在这个实验中使用的所有光圈设置。
电压(kV) Xe+电流(nA) N+电流(nA) 基于“增大化现实”技术+电流(nA) O+电流(nA) 遗传算法+电流(nA)
30. 15 23 7.6 5.6 21
12 20. 6.9 14 13 18
5 20. 14 19 24 13
2 12 15 3.1 3.8 7