杨氏模量和氧化锌导电的线性热膨胀系数和透明超薄薄膜

文摘

新技术测量一个超薄薄膜的杨氏模量、厚度范围约10纳米,是由结合光学杠杆测量残余应力和x射线衍射技术测量应变的电影。这项新技术应用于分析Ga-doped氧化锌的机械性能(GZO)电影,已经成为重要的关注的焦点作为碳管分散的代用材料透明电极。杨氏模量的as-deposited GZO电影减少厚度;的值205 nm和500 nm厚的电影是GPa和117 GPa,分别。GZO电影的线性热膨胀系数测量新技术结合使用现场残余应力测量在热循环测试。GZO电影30 - 100纳米的厚度有线性热膨胀系数4.3×10的范围⁻⁶- 5.6×10⁻⁶°C⁻¹。

1。介绍

光学透明和导电氧化锌薄膜,如Ga-doped氧化锌(GZO)或Al-doped氧化锌电影,吸引注意选择电极材料氧化铟锡(ITO),具有良好的光学透明和导电特性,液晶显示器(lcd),灵活的显示器,触摸屏和太阳能电池。动机发展的氧化锌透明电极包括(a)铟的稀缺自然资源和(b)铟的毒性。铟是一种罕见的元素和仅排名第61位在地壳丰度(1]。同时,在毒性方面,最近,铟被怀疑肺部疾病的一个原因(2]。

氧化锌电极需要忍受对机械力引起的热处理步骤期间制造平板显示器等电子设备,灵活的显示器,触摸屏,led,扩张或收缩的部分由热引起的严重情况下(在夏季和冬季,例如)的太阳能电池。这些外部力量可以提高脱皮的频率或开裂的元素组成的系统,如透明电极,在制造过程中或操作的设备。所需的是电影用来形成这样的电极机械软属性,因为软材料可以吸收外部力量,避免剥落和裂纹的电影。获得这样一个电影,各种薄膜的力学特性,如弹性、塑性、粘性,脆性,屈服强度和粘合度,应该评估和分析。

在这些特点,年轻”模量是最重要的力学性能之一的电影。这是一个电影的内在属性(材料)与原子成键和晶体结构。

在这项工作中,新技术开发的机械特性测量液晶的超薄薄膜的透明电极。杨氏模的线性热膨胀系数GZO薄膜使用新技术进行了分析。

2。实验

GZO影片准备使用两个沉积方法:(1)常规磁控溅射与直流电源(直流MS)或结合直流电源/射频(rf)溅射(射频+直流MS),和(2)活性等离子体沉积(RPD) [3]。浓度的镓沉积源将是3.0 - -6.0 wt % Ga₂O₃为了最小化GZO薄膜电阻率。用于制备条件GZO电影表中列出1。

电影中的残余应力是由传统的光杠杆法测量(模型:F2300强直有限公司),涉及的633 nm波长激光束扫描HeNe激光(CW模式中,激光功率:4 mW)。样品将在3小surface-projections安排在等边三角形的位置在加热板上。电影中的残余应力测量在加热从25到500°C,然后冷却到25°C。底物被膜的残余应力变形。基板的曲率半径测量通过探测反射的激光束。电影中的残余应力是通过测量曲率半径的变化前后的衬底上形成薄膜,并利用线性热膨胀系数和衬底的杨氏模量。

GZO薄膜的晶体结构进行了分析使用x射线衍射仪(XRD、模型:ATX-G Rigaku有限公司)、透射电子显微镜(TEM模式:h - 9000表日立高新技术有限公司)和扫描电子显微镜(SEM、模型:s - 4300日立高新技术有限公司)。

3所示。结果与讨论

3.1。在GZO薄膜残余应力

3.1.1。残余应力在GZO电影厚度的函数

的晶体结构GZO电影使用TEM观察。图1显示了一个100纳米厚的横断面TEM图像GZO RPD电影在180°C的系统。GZO电影有一个柱状多晶结构,如低放大率TEM显微图所示图1(一个)。中间的黑色和白色条纹交替层放大显微图在图1(b)对应于锌和O原子层纤锌矿晶体结构形成GZO材料。图像中的不规则零件堆放锌和O原子层可以在衬底表面附近(在最低的区域(1)放大显微摄影(a)),如图1(b)。这种不规则消失从远处的大约50 nm衬底的表面。GZO电影有一个非常棒的晶体结构,类似于单晶,见横断面点阵图像的区域(2)图1(a)与衬底表面的距离,如图1(c),横断面点阵图像的边界位置不能确定。

一般来说,压力增加非常分散的位置如表面或不连续的材料。我们预测残余应力与ca GZO电影。50纳米的厚度会显示异常或不规则的依赖残余应力作为膜厚度的函数。图2显示了典型的残余应力依赖GZO薄膜的厚度。电影的残余应力测量在ca。25°C在空气中。电影(100)上形成Si单晶衬底(晶片)和热氧化RPD二氧化硅膜在180°C的系统。

这项工作的所有电影形成压应力。众所周知,电影中的残余应力取决于程度的高能粒子轰击,也就是说,能量的冷凝电影,在溅射沉积或与等离子体放电离子镀膜(4- - - - - -9]。RPD是一种离子镀膜方法。能量粒子轰击,“原子锤击效应”,介绍了压应力在一个电影。能源是一个函数的各种工艺参数,如工作压力、放电电压,气体质量,衬底温度。

的违规行为的依赖GZO电影的残余压应力在厚度出现在大约60纳米厚度的硅晶片上形成电影,SiO₂层。这个厚度对应于一个ca的距离。50 nm从衬底的表面,表明之间的边界地区(1)和地区(2)如图1(一)存在。这信件证明残余应力之间的紧密联系和水晶不规则的分布。这表明残余应力测量,一个可用的宏观评价方法,可以作为监测晶体结构的纳米级政权在影片中。图3比较了残余应力在厚度的依赖GZO电影由直流女士,女士射频+ dc和RPD。发现该地区与水晶附近的违规行为形成的界面膜射频+ dc女士被分发到大约100海里的距离从衬底的表面。这个距离是两倍的时间比RPD形成的电影。

3.1.2。磁滞行为Stress-Temperature GZO电影的特征

剩余的属性(抗压)强调GZO电影RPD和磁控溅射方法形成的各种厚度,如图4和5,分析了使用热循环测试。这样测试GZO电影也在我们之前讨论的论文(10,11]。测试在室温和500°C为每个样品进行了两次。加热和冷却率控制到2.8°C /分钟。认为这些利率实现了热准静态(热平衡)情况的样本。现场测量残余应力的电影在热循环测试。残余应力的测量用了不到几毫秒每一点的热循环测试。每部电影显示以下常见的行为:(a)的压缩残余应力在电影开始急剧减少,从200年到400°C(电影由直流女士之间的温度不同,射频+直流女士,和RPD)当温度增加第一次加热步骤(步骤(1)),(b)残余应力降低了单调降低温度时从500°C(步骤(2)),和(C)残余应力的依赖在每部电影在第二次热循环温度(步骤(3)和(4))几乎与此同时,在步骤(2)中,残余应力和温度之间的线性关系在步骤(2)-(4)表明,每部电影的主要残余应力分量是热应力。这种热应力引起的线性热膨胀系数的差异GZO电影和Si衬底。步骤(1)中的残余应力行为的电影由RPD和直流接近女士,在步骤(2)-(4)相对较厚(即。500 nm) GZO电影。因此,主要成分等厚膜的残余应力的热应力(内在压力),即使在热循环测试as-deposited电影。GZO电影接近理想的晶体结构与厚度增加。另一方面,步骤(1)中的残余应力行为GZO电影由射频+直流女士显然不接近,在步骤(2)-(4)甚至在500 nm厚的电影。这表明高应变或不规则的晶体结构存在,直到影片中衬底表面的距离。这是符合结果的依赖残余应力在厚度射频+直流薄膜在退火之前,女士如前所述在图2。对于这部电影由射频+直流女士,不规则,应变或分散c设在方向垂直于衬底表面被认为超过500海里的接口。

由于热处理残余应力的行为能产生的热膨胀系数值的电影。获取系数、杨氏模量GZO薄膜需要由一些测量技术。此外,电影中的热应力必须来自残余应力对温度的依赖。GZO电影中的残余应力形成的磁控溅射作为温度的函数改变了以复杂的方式与残余应力在GZO电影由RPD加热在第一周期(步骤(1)),如图4和5。因此,我们关注GZO薄膜的力学性能由RPD系统。我们提出一个新的技术测量杨氏模量的超薄电影和证明其有效性分析机械在现阶段的特点。

3.2。GZO电影的杨氏模量

3.2.1之上。提出新技术测量杨氏模超薄薄膜

目前测量杨氏模量的方法广泛应用是破坏性技术,破坏样品。在任何情况下,超薄薄膜的杨氏模量不能衡量这些方法。我们提出一个新的无损测量杨氏模量的方法,不破坏样品,适用于超薄薄膜的厚度大约10纳米的范围。此外,我们讨论GZO电影获得的力学特性使用新的方法。

杨氏模量()通常由技术测量样品的变形引起的外部作用力()使用以下公式: 在哪里是单位面积的横截面样品垂直作用力的方向(负载),是扩展长度,是样品的原始长度。各种传统技术使用这个已经申请测量杨氏模量的关系很长一段时间。nanoindentation方法(12),如图6的主要技术,已成为测量薄膜的杨氏模量。然而,该方法不适用于电影比ca薄。1μm。一下提示的前沿depth-sensing缩进系统中通常采用穿透容易到达附近的电影,在如衬底。这导致tip-loading重量(力)的穿透深度关系曲线偏离内在应该观察到薄膜材料。因此,杨氏模量中使用这些曲线偏离内在模量薄膜材料的价值。

这项工作中所开发的新技术测量杨氏模量适用于电影比1μm。杨氏模量测量的原理图所示7。()和(在公式()1)对应压力()和压力(),分别。因此,公式(1)可以写成

这是胡克定律的基本方程,表明材料的杨氏模量可以确定薄膜的形式直接通过测量薄膜中的应力和应变。

一般来说,电影中的残余应力测量的光学杠杆方法,方法(13使用x射线衍射,或nanoindentation前面描述的方法。的方法不适合分析薄膜的残余应力和厚度小于几微米。

压力由这种技术使用光杠杆法测量残余应力的平面组件。应变测量用掠入射wave-dispersive XRD(有时称为“平面x射线衍射”[14])。一个Cu-Kαx射线(波长:0.154184海里)梁与入射角低辐照表面的样本。这个角度设置为0.35度的表面,这是近全反射角度氧化锌薄膜。沿着平面方向压力和颗粒大小在每部电影Williamson-Hall获得的方程(图)15),以下所示,使用角度和完整的宽度最大值的一半(应用)的衍射x射线峰值与电影的材料的结晶指数: 在哪里是半宽度(应用)的衍射x射线峰值,是角x射线衍射峰,是应变,晶粒尺寸。

因此,当(垂直轴:y设在)的函数(水平轴:x设在)是策划,获得的菌株的斜率y- - - - - -x曲线和晶粒尺寸的决定y拦截。

我们建议的杨氏模量测量技术结合了前两种技术。它具有以下特点:(1)是无损(样品不损坏),(2)适用于超薄薄膜厚度只有10 nm,(3)它允许的价值每一层在多层复合试样分别获得,和(4)可以确定杨氏模量的方向结晶指数。(这是完全可能的光杠杆法;然而,它通常只能测量残余应力的方向的平面电影。就变成了必要介绍的方法使矢量分析压力。)

3.2.2。应变和晶粒尺寸GZO多晶超薄薄膜

衍射模式从GZO电影由RPD系统获得使用出平面及平面x射线衍射技术测量图所示8。只有(002)和(004)衍射峰的氧化锌纤锌矿晶体结构的衍射数据获得的外平面x射线衍射技术,如图8(一个)。根据图8 (b),山峰平面XRD技术获得的衍射(xx0)晶体的飞机。这些结果表明,GZO多晶薄膜由的谷物c相互重合的纤锌矿晶体细胞沿法线方向面向严格表面的电影。

压力和颗粒大小在多晶GZO电影确定使用(3)和(x00)在平面XRD衍射峰模式,分别。获得的菌株的组件一个设在方向氧化锌的纤锌矿晶体细胞,也就是说,在的在普通方向GZO电影。图9显示了应变和晶粒尺寸的依赖GZO电影前后膜厚度的热循环测试在室温到500°C。晶粒尺寸增加单调膜厚度。另一方面,应变随膜厚度增加而降低。这些依赖于膜厚度有很好的对应横断面之前TEM显微图显示在图1。即区域(1)接近衬底的界面有小颗粒和更高的压力是因为堆积的方向替代锌和O原子层(正好与方向c设在纤锌矿晶体细胞)并不是每个晶粒之间的对应。比较,谷物中叠加方向精确导向的区域(2)远的距离衬底的表面,如图1。特别是,压力膜厚度的依赖是符合常规的依赖原子层堆积的距离接口。应变特征作为GZO厚度的函数在区域(图1)1有一个坡度陡比地区(2)。

我们接下来讨论晶粒尺寸的变化和应变GZO电影引起的热循环测试在室温和500°C之间。热处理有很少或没有影响晶粒生长方向平面(一个设在方向)。另一方面,GZO电影中的应变显著降低了热循环测试。减少应变率与ca电影。100纳米厚度引起的热循环测试达到50%左右。另一方面,应变与ca薄膜。30纳米的厚度减少热处理的只有20%。据估计,热循环测试条件不足释放高应变引起的高度结晶区域(1)中的违规行为。认为大量的晶体缺陷包括衬底附近的界面,如在区域(图1)1(一)。

3.2.3。GZO薄膜的杨氏模量

GZO薄膜的杨氏模量导出了用应力应变(2上一节中提到的)。杨氏模量的as-deposited GZO电影取决于膜厚度,如图10 ()。超薄薄膜的杨氏模量,例如30纳米的厚度,是205 GPa。这部电影有60纳米厚度的最大模量300 GPa。这个值随厚度增加而降低的电影和达成价值约117 GPa在500纳米厚度比较厚GZO电影。一般来说,杨氏模量显示了相关材料的硬度。硬度随材料的缺陷的数量。缺陷销原子层滑移相对于其他层在晶体由于外部力量。然后,杨氏模量在一个超薄电影或在界面附近有大量的缺陷变得比厚膜或衬底表面的距离。这种依赖图所示10 ()与晶体的分布是一致的违规行为或原子层的叠加方向的分散在每个谷物如图1(一)和1(b)。杨氏模量的依赖GZO薄膜的膜厚在热循环测试后室温至500°C也显示在图10 (b)。杨氏模量与500纳米厚度相对较厚的膜显著减少了一位半的价值在热循环测试。为什么厚膜的杨氏模量相对较少的缺陷大幅度下降还不清楚。在一个区域远离衬底的界面,如图1(c),锌和O原子层多晶硅晶界的顺利连接。的体积的比例地区大量缺陷存在于衬底表面附近的电影的总量减少的厚度增加的电影。然后,获得了杨氏模量的值是影响地区的比率(2)/(地区(1)+(2)地区)如图1。在500 nm厚的GZO电影,杨氏模量来衡量这种新技术几乎相等的区域(2)与少量的缺陷,因为该地区成为一个数量级的体积比地区(1)与大量的缺陷。在这个阶段,我们只能推测的原因为什么500 nm厚的杨氏模量显著减少了热循环测试。很小数量的缺陷存在于晶界区域(2),这是一个热处理前的模量的主要因素。锌和O原子层的位置连接持续顺利在晶界区域(2)所示的数据1(一)和1(c)和职位,他们没有连接顺利地区(1)存在于电影。然后,晶体缺陷发生在后来的晶界位置。这个小数量的缺陷区域(2)可以通过热处理消失很容易从晶界。因此,厚膜的杨氏模量,如与500纳米厚,显著减少了热处理。的价值几乎比得上硬度较低的材料,如滑石或硫酸钙。

3.3。线性热膨胀系数GZO电影

热应力()在一个电影是由以下方程导出使用温度(影片中的残余应力)的依赖关系:

使用热应力()和薄膜的杨氏模量,线性热膨胀系数()的电影可以推导出以下几点:

在这里,,,代表电影的泊松比、杨氏模量的电影,和底物的线性热膨胀系数,分别。

热应力的线性热膨胀系数GZO电影热氧化硅晶片上形成一个单晶(100)晶体表面得到使用的stress-temperature特征如图GZO电影4和使用(4)或(5)。GZO电影的这些材料属性来自stress-temperature特征在室温至250°C考虑以下因素:(1)GZO电影派生的杨氏模使用测量残余应力和压力值在前一节中提到的电影在室温下,和(2)最高的加工温度制造液晶显示器通常仅限于约250°C部分如RGB(红绿蓝)颜色过滤器形成液晶显示器是由有机材料制成。如图4,当样本加热在第一个循环步骤(步骤(1)),残余应力的行为作为温度的函数是复杂的。然后,残余应力对温度的依赖第二加热阶段(步骤(3))用于获取热应力。

2.67×10的价值⁻⁶°C⁻¹在100°C的Si的线性热膨胀系数是温度的函数,冈田克也和Tokumura报道16),用于在(5)。热应力的线性热膨胀系数GZO电影被确定,如图11。GZO电影暂时分配的泊松比为0.3,这是氧化锌的泊松比值的平均值选为获得各种报告(17- - - - - -23),因为我们的技术还没有达到一个适用的水平来衡量它在这个阶段。的泊松比为0.1或更高版本低于0.3(泊松比:0.2或0.4),线性热膨胀系数只有大约7%增加或减少。

GZO电影的线性热膨胀系数与30 - 100纳米的厚度正好与我们的期望。另一方面,线性热膨胀系数的500纳米厚膜倾斜远离我们的期望。目前尚不清楚为什么异常的线性热膨胀系数500纳米厚度的薄膜。我们认为,这可能源于优秀的原子在多晶层边界的连续性,类似于一个单独的水晶,如图1(c)。

4所示。总结

我们开发了一项新技术分析超薄多晶薄膜的机械性能。这种方法用于测量杨氏模量的超薄薄膜应力测量使用光杠杆技术和x射线衍射x射线束事件从一个大约全反射角度(平面XRD技术)。这种测量技术是无损和电影不会造成任何伤害。此外,该技术可以应用于测量杨氏模量的超薄电影各种10 ~ 30纳米多晶材料的厚度。

在残余应力的依赖GZO薄膜膜厚度,最大应力出现在电影与50 - 60纳米的厚度。这个厚度的距离恰好与衬底的表面,改变从该地区与不规则堆积方向交替锌和O原子层的柱状颗粒组成的该地区谷物与严格对齐叠加方向。因此,残余应力从晶体纳米地区电影代表信息。

杨氏模GZO电影显示出类似的对膜厚度的依赖。的最大模量达到一个值大约300 GPa。模量随厚度增加而降低。GZO电影与500纳米厚117 GPa的杨氏模量。这个值的模量是合理的值相比61 - 125年的平均绩点报道与2 - 3氧化锌薄膜μ使用nanoindentation米厚度测量技术(24]。GZO电影的线性热膨胀系数与30 - 100纳米的厚度是4.3×10的范围⁻⁶-5.6×10⁻⁶°C⁻¹。另一方面,这部电影与500纳米厚度有显著高系数8.3×10⁻⁵°C⁻¹。我们估计这个高价值有关的连续性的锌和O原子层平面方向(的方向设在晶界之间的氧化锌的纤锌矿型细胞)类似于单晶。这优秀的连续性也有有利的影响较低的杨氏模量和较低的残余应力。

结果表明,新的超薄薄膜的杨氏模量测量技术是非常有用的。GZO电影的力学性能由常规磁控溅射不讨论了。摘要未来电影的特点将相比GZO电影由RPD系统。此外,这项技术将被应用为发展中氧化锌透明导电薄膜,可以抵御外部机械压力在液晶显示器的制造和测试显示在外部条件下的长期可靠性的加热50 - 60°C和90 - 95%的高湿度。

确认

作者要感谢y Yasuda博士跨学科研究中心教授,东北大学,t·山田Guraduate工程学院的博士,大阪大学和m .博多先生的前任董事会成员卡西欧计算机有限公司,有限公司,为他们的鼓励,在作者的研究和建议贡献超薄薄膜的机械性能。作者还要感谢k博士武田,t .先生,和n先生佐久间中央研究实验室的日立有限公司提供他们的分析设施,和k博士Inaba Rigaku x射线研究实验室的公司在这项工作的过程中有价值的建议。这项工作是由格兰特成为可能促进区域合作的实体从日本科学技术振兴机构技术卓越,这是支持的部分资金发展的铟透明导电电极替代材料在稀有金属替代材料开发项目从NEDO(新能源和工业技术发展组织)。

引用

1. d . Kempthorne和m·d·迈尔斯矿产商品总结2007美国政府印刷局,华盛顿特区,美国,2007年。
2. 美国的丑行,宫本茂,坂本,k .岸n . Motoi和k . Yoshimura“肺纤维化个体职业性暴露吸入氧化铟锡,”《欧洲呼吸杂志》,25卷,不。1,第204 - 200页,2005。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
3. 山本t, t .山田一切,a, h .牧野,和n .山本”Ga-doped氧化锌:一个有吸引力的潜在替代ITO,大面积涂料,和控制的电气和光学玻璃和聚合物基质上的属性,“学会杂志》上的信息显示,16卷,不。7,713 - 719年,2008页。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
4. r·s·瓦格纳a . k . Sinha t . t .盛h . j .辞世,f·b·亚历山大,“大规模集成电路应用钨金属化,”真空科学与技术杂志》上11卷,第590 - 582页,1974年。视图:谷歌学术搜索
5. j·a·桑顿和d·w·霍夫曼内应力在钛、镍、钼、钽电影由圆柱形磁控溅射沉积,”真空科学与技术杂志》上,14卷,第168 - 164页,1977年。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
6. d·W·霍夫曼和j·a·桑顿,”艾尔的压应力转变,V,锆、Nb和W金属电影气急败坏的在低工作压力,”薄固体电影,45卷,不。2、387 - 396年,1977页。视图:谷歌学术搜索
7. h . Windischmann“sputter-deposited薄膜的内在压力,”固体和材料科学的关键评论,17卷,不。6,547 - 596年,1992页。视图:谷歌学术搜索
8. 山本n、h . Kume s岩田聪et al .,“高可靠钨栅金属氧化物半导体集成电路制造的,”电化学学会》杂志上,卷133,不。2、401 - 407年,1986页。视图:谷歌学术搜索
9. r·e·Cuthrell d . m . Mattox c·r·皮尔普斯p l . Dreike和k . p . Lamppa“残余应力各向异性、应力控制和电阻率在阴极磁控溅射沉积钼电影,”真空科学与技术杂志》上》第六卷,没有。5,2914 - 2920年,1988页。视图:谷歌学术搜索
10. a . n .山本t Yamada宅一生,h .牧野,岸本s . t .山本,“残余应力和晶体结构之间的关系在影片Ga-doped氧化锌,”电化学学会》杂志上,卷155,不。9日,J221-J225, 2008页。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
11. t . n .山本h .牧野,山田et al .,“耐热Ga-doped氧化锌薄膜的应用程序作为液晶显示器的透明电极,”电化学学会》杂志上,卷157,不。2,J13-J20, 2010页。视图:谷歌学术搜索
12. e . b . Tadmor r·米勒,r·菲利普斯“Nanoindentation和初期的可塑性,”材料研究学报,14卷,不。6,2233 - 2250年,1999页。视图:谷歌学术搜索
13. p . s . Prevey“x射线衍射残余应力技术,”金属手册,10卷,页380 - 392,美国社会对金属,金属公园,俄亥俄州,美国,1986年。视图:谷歌学术搜索
14. b·k·坦纳·t·p·a·哈泽t . a . Lafford和m . s . Goorsky“掠入射平面x射线衍射,国际衍射数据中心”先进的x射线分析47卷,第314 - 309页,2004年。视图:谷歌学术搜索
15. g·k·威廉姆森和w·h·霍尔,”从提出铝和wolfram x射线谱线增宽。”Acta Metallurgica,1卷,不。1,23-31,1953页。视图:谷歌学术搜索
16. y冈田克也和y Tokumura精确测定硅的晶格参数和热膨胀系数300 K - 1500 K,”应用物理杂志卷,56号2、314 - 320年,1984页。视图:谷歌学术搜索
17. s . Imai m·德山s Hirose g . j .汉堡t . s . j . Lammerink和j·h·j . Fluitman”影响薄膜压电传感器阵列的Si滑块测量头磁盘交互,”IEEE磁学没有,卷。31日。6,3009 - 3011年,1995页。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
18. h . k . Yoon和y s . Yu的氧化锌薄膜的硬度和弹性模量骑士方法,”主要工程材料卷,353 - 358。4、2966 - 2969年,2007页。视图:谷歌学术搜索
19. i·欧·m·a . Gulgun和m . Ozcan”自诱导的结晶度在射频磁控溅射氧化锌薄膜,”主要工程材料卷,264 - 268,1225 - 1228年,2004页。视图:谷歌学术搜索
20. h·c·荣格、h·k·Yoon和y s . Yu”氧化锌沉积各种基板的力学性能和过程,”主要工程材料卷,297 - 300,533 - 538年,2005页。视图:谷歌学术搜索
21. 曹和x陈”,大小依赖氧化锌纳米薄膜的弹性性质和方向依赖,”国际期刊的固体和结构,45卷,不。6,1730 - 1753年,2008页。视图:谷歌学术搜索
22. g·斯坦,c . v . Ciobanu, p . m . Parthangal和r·f·库克“Diameter-dependent氧化锌纳米线的径向和切向弹性模”纳米快报,7卷,不。12日,第3697 - 3691页,2007年。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
23. o . Kappertz、r . Drese和m . Wuttig”关系结构,压力和沉积参数直流气急败坏的氧化锌电影,”真空科学与技术杂志》上,20卷,不。6,2084 - 2095年,2002页。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索
24. 郭宏源。方,W.-J。常,C.-M。林,”Nanoindentation表征氧化锌薄膜,”材料科学与工程卷,452 - 453,715 - 720年,2007页。视图:出版商的网站|谷歌学术搜索

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