残余应力的依赖GZO电影RPD系统形成的膜厚度在热处理之前。这些符号表示测量数据。打开点(a)和(b)圆圈对应1号和2号试验一系列GZO电影分别和三角形(c)显示了残余应力在氧化锌薄膜Ga(第三系列)。第一和第三系列的电影在硅晶片上形成热氧化硅层的电影。