TY - Jour A2 - Lo，Kin Ho Au - Yamamoto，Naoki Au - Makino，Hisao Au - Yamamoto，Tetsuya Py - 2011 DA - 2011/07/25 ZnO导电透明透明且透明透明膨胀的线性热膨胀模量和系数-thin薄膜SP-136127 VL - 2011 AB - 通过组合光学杆技术来测量残留应力和厚度为约10nm的厚度的较年轻薄膜模量的新技术。用于测量薄膜中应变的X射线衍射。应用新技术以分析Ga掺杂ZnO（GZO）薄膜的力学性能，这使得成为铟锡氧化铟锡透明电极的替代材料的重点。缺口的沉积的GZO薄膜的模量随厚度而降低;30nm和500nm厚膜的值分别为205gPa和117gPa。使用新技术相结合测量GZO膜的线性热膨胀系数 原位热循环测试期间的残余应力测量。具有30-100nm厚度的GZO薄膜在4.3×10的范围内具有线性热膨胀系数^-6- 5.6×10^-6 °C^-1。SN - 1687-8434 UR - https://doi.org/10.1155/2011/136127 do - 10.1155 / 2011/136127 jf - 材料科学与工程Pb - Hindwi Publishing Corporation KW - ER -