研究文章
正方形膜片CMUT电容计算使用新的偏转形状函数
表3
比较新模型的电容值后使用偏转形状函数(
10,
12)和(
11)与有限元分析结果对大型隔膜偏转。其他参数与表相同
2。
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分析(fF) |
(FEA-analytical) |
| (10] |
(12] |
新模型 |
(10] |
(12] |
新模型 |
| (μ米) |
(μ米) |
MPa |
(kPa) |
有限元分析 |
有限元分析(fF) |
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| (μ米) |
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| One hundred. |
1 |
One hundred. |
60 |
1.16 |
149.8 |
141.26 |
158.36 |
152.07 |
5.70 |
−5.72 |
−1.51 |
| One hundred. |
2 |
One hundred. |
480年 |
2.50 |
217.08 |
181.4 |
256.45 |
218.36 |
16.43 |
−18.14 |
−0.59 |
| One hundred. |
3 |
One hundred. |
1000年 |
2.49 |
209.2 |
178.77 |
249.12 |
208.18 |
14.55 |
−19.08 |
0.49 |
| One hundred. |
1 |
250年 |
120年 |
1.12 |
150.24 |
140.88 |
157.55 |
151.41 |
6.23 |
−4.86 |
−0.78 |
| One hundred. |
2 |
250年 |
320年 |
1.20 |
149.64 |
142.25 |
160.50 |
151.03 |
4.93 |
−7.35 |
−0.93 |
| One hundred. |
3 |
250年 |
1000年 |
1.85 |
169.6 |
156.72 |
193.08 |
171.89 |
7.59 |
−13.84 |
−1.35 |
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