研究文章
正方形膜片CMUT电容计算使用新的偏转形状函数
表2
比较新模型的电容值后使用偏转形状函数(
10,
12)和(
11)与有限元分析结果对小隔膜偏转。
μm,杨氏模量,
GPa,泊松比,
,所有病例和偏压= 12 V。
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分析(fF) |
(FEA-analytical) |
| (10] |
(12] |
新模型 |
(10] |
(12] |
新模型 |
| (μ米) |
(μ米) |
MPa |
(kPa) |
有限元分析 |
有限元分析(fF) |
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| (μ米) |
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| One hundred. |
1 |
One hundred. |
20. |
0.43 |
132.96 |
130.01 |
135.06 |
132.72 |
2.22 |
−1.58 |
0.18 |
| One hundred. |
2 |
One hundred. |
160年 |
1.08 |
144.84 |
139.22 |
154.01 |
145.5 |
3.88 |
−6.33 |
−0.46 |
| One hundred. |
3 |
One hundred. |
400年 |
1.18 |
146.08 |
140.3 |
156.4 |
146.3 |
3.94 |
−7.05 |
−0.15 |
| One hundred. |
1 |
250年 |
60 |
0.43 |
136.64 |
132.14 |
139.36 |
136.03 |
3.29 |
−1.99 |
0.44 |
| One hundred. |
2 |
250年 |
320年 |
0.95 |
149.64 |
142.25 |
160.49 |
150.02 |
4.94 |
−7.25 |
−0.25 |
| One hundred. |
3 |
250年 |
700年 |
1.11 |
151.84 |
144.48 |
165.31 |
152.24 |
4.85 |
−8.87 |
−0.26 |
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