微/纳米加工和表征的先进材料和设备
出版日期
2019年2月01
状态
发表
提交截止日期
2018年9月21日
导致编辑器
客人编辑
1弗吉尼亚理工大学,布莱克斯堡,美国
2武汉科技大学,武汉,中国
3美国西雅图华盛顿大学
4美国英特尔公司,西斯波罗
微/纳米加工和表征的先进材料和设备
描述
纳米材料和微观/ nanodevices微/纳米系统的关键部件。纳米结构的圆片规模集成微/纳米系统是高度重要的纳米结构的应用程序。有效表征技术,尤其是原位表征,本质上是调查和发展所需的纳米结构和微/ nanodevices。到目前为止,微/纳米加工技术具有优异的可重复性、精度高、成本低,以及有效的结合自顶向下和自底向上的方法,已成为纳米技术领域的主导因素。此外,原位XRD等表征技术,微喇曼和扫描电镜也同等意义的发展和应用的纳米结构和微/ nanodevices。
这个特殊问题的目的是发布最新先进的合成,表征,和模拟的微纳米结构和微/纳米加工技术/ nanodevices,特别注意原位纳米结构材料的特点和集成到微/纳米系统。相关的原始研究的文章和评论这些特定主题将被评估为新奇,兴趣,和灵感。
潜在的主题包括但不限于以下:
- 无机功能纳米结构的合成和表征
- 金属材料与nanoprecipitates
- 原位表征技术的微/纳米结构和微观/ nanodevices
- 理论和仿真的微/纳米结构
- nanocrystallization机制
- 微/ nanodevices微/纳米加工技术
- 纳米线/杆半导体器件
- 纳米机械特性
- 集成的高性能纳米结构微/纳米系统
- 纳米晶体结构的稳定性