有源和无源电子元件/2017/文章/选项卡2

研究文章

20 nm三角FinFET工艺参数变化的比较仿真分析

表2

的变化

SN (nm) (nm) 一)

10 30.042 0.1502083
15 40.042 0.2002083
20. 50.042 0.2502083
30. 70.042 0.3502083
40 90.042 0.4502083