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研究文章
20 nm三角FinFET工艺参数变化的比较仿真分析
表2
的变化
和
与
.
SN
(nm)
(nm)
(
一)
10
30.042
0.1502083
15
40.042
0.2002083
20.
50.042
0.2502083
30.
70.042
0.3502083
40
90.042
0.4502083