有源和无源电子元件/2017/文章/图3

研究文章

20 nm三角FinFET工艺参数变化的比较仿真分析

图3

三角FinFET。(a)三角鳍材料和三角鳍的净掺杂。(b)有源区域的净掺杂。(c)设计的FinFET掩模。
(一)
(b)
(c)