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有源和无源电子元件
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2017
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文章
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图3
研究文章
20 nm三角FinFET工艺参数变化的比较仿真分析
图3
三角FinFET。(a)三角鳍材料和三角鳍的净掺杂。(b)有源区域的净掺杂。(c)设计的FinFET掩模。
(一)
(b)
(c)