研究文章

建模的通道厚度影响电特性和串联电阻Gate-Recessed纳米SOI mosfet

图2

分光光度法测量通道的含有纳米级厚度进行测试见方的块体(简称NSB)设备(从4.4到1.6海里)。从相同的骰子直径SIMOX硅片。介绍测量的准确性是证实了插入图片频道厚度最小值(1.6海里)。拟合是作为视觉引导的厚度分布。
801634. fig.002