材料科学与工程的发展
研究文章

调查的实体和分形模式Spin-Coated LuMnO3薄膜

表3

LuMnO的表面显微组织参数3根据ISO 25178 - 2:2012薄膜。
参数 单位 LuMnO650 LuMnO750 LuMnO850
沟
最大深度 (nm) 0.83±0.07 1.34±0.34 6.05±0.11
平均深度 (nm) 0.35±0.02 0.55±0.15 2.15±0.19
纹理
“透明国际” (%) 56.48±9.39 56.50±12.54 56.92±5.68
萨尔 (μ米) 0.19±0.02 0.23±0.04 0.21±0.03
Str (-) 0.56±0.09 0.56±0.12 0.57±0.06
第一个方向 (°) 128.39±23.41 135.00±0.01 107.26±18.79
第二个方向 (°) 134.99±13.09 105.88±27.50 83.89±41.92
第三个方向 (°) 96.62±41.71 76.77±44.95 121.50±22.70
没有显著差异,表示样本方差分析单向和图基测试( )。