材料科学与工程的发展
研究文章

调查的实体和分形模式Spin-Coated LuMnO3薄膜

表1

高度LuMnO的表面参数3根据ISO 25178 - 2:2012薄膜。
参数 单位 LuMnO650 LuMnO750 LuMnO850
高度
平方 (nm) 0.30±0.03 0.61±0.35 2.48±0.53
构造论 (-) 0.33±0.15 0.39±0.43 0.22±0.08
Sku (-) 3.60±0.31 4.24±1.37 3.17±0.45
Sp (nm) 1.38±0.21 2.78±1.86 8.23±0.82
Sv (nm) 1.18±0.16 2.62±0.95 9.09±1.94
深圳 (nm) 2.56±0.18 5.40±2.80 17.27±2.32
Sa (nm) 0.24±0.02 0.45±0.22 1.81±0.43
没有显著差异,表示样本方差分析单向和图基测试( )。