μ http://www.rm-certificates.bam.de/ 铝二次离子形象的BAM L200铝/铟砷化镓标准。视野2×230 m,显示像素大小15.6 nm,凯文,< 1 pA主要镓离子束。叠加在红色的综合形象,和标签表示对每一行(参见bam_l200repe的时期。pdf从的更多信息)。67.5纳米线对时期(即。、线宽34海里,由34海里)几乎没有分歧,但97海里时期一对(49海里宽线)解决。