室内FIB / SEM-SIMS原型。样品阶段已降至使收藏镜头的安排和带电粒子列清楚。西姆斯工作,样品通常是定位在一个9毫米低于SEM专栏的工作距离,和倾斜55°的样品表面正常事件镓离子。额外的仪器如nanomanipulators、注气系统和EDX或疯牛病探测器可以根据需要添加。对SPM测量,SPM大会是安装在样品阶段。