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材料科学与工程的发展
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材料科学与工程的发展
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2012年
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图16
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研究文章
高空间分辨率飞行时间二次离子质谱质量:一种新型正交ToF FIB-SIMS仪器
原位
AFM
图16
15
SEM图像的名义20 nm / 20纳米氧化锌/氧化铝多层样品的模拟人生结果如图。明亮的条纹是氧化锌层,深色条纹的氧化铝层,硅衬底。可以看出,氧化锌层比氧化铝薄层。