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孟Wen-Ming张光,Ke-Xiang魏, ”非线性动力学耦合的静电微机械谐振器在双频参数和外部荷载”,冲击和振动, 卷。17, 文章的ID107404年, 12 页面, 2010年。 https://doi.org/10.3233/sav - 2010 - 0519
非线性动力学耦合的静电微机械谐振器在双频参数和外部荷载
收到了
2009年5月08
修改后的
2009年8月31日
文摘
摘要非线性动力学和混乱的静电驱动MEMS谐振器在双频参数和外部励磁的调查分析和数值。非线性mass-spring-damping模型用于占压膜阻尼和平行板静电的力量。微观结构是由直流偏压兴奋静电力和谐波力量频率调谐密切关注他们的基本的自然频率振荡(组合)。质量因素是计算的微悬臂梁谐振器考虑压膜阻尼。非线性压膜阻尼的影响在频率响应,品质因数,共振频率和非线性动态系统的动态特性提供了数值模拟使用分岔图,Poicare地图,最大李雅普诺夫指数和相图。结果表明,动态系统经过一个复杂的非线性振动系统参数变化。指出非线性压膜阻尼的影响应考虑由于其减少质量因子和改变MEMS谐振器的非线性现象。
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