工程建模与仿真/2011年/文章/图9

研究文章

等离子体和偏置模拟:具有低密度氩等离子体的自给式静电粒子,用于TIC

图9.

实验的反应器的设置。
931415.fig.009

年度奖项:由我们的首席编辑所选的2020年突出的研究捐款。阅读获奖物品