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中国传感器杂志
中国传感器杂志/2016年/文章/标签2

研究文章

TiO的旋转速度和持续时间依赖性2薄膜pH感测行为

表2.

Ti的厚度值 薄膜以不同的速度旋转。
旋转速度（RPM） 厚度（nm）
1000 rpm. 40.40
2000 rpm. 33.50.
3000rpm. 22.87
4000rpm. 18.80

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