等离子体二次电流传感器在聚焦扫描电子束焊接过程控制中的应用

图11

1、电子枪;2、聚焦线圈;3、放大器为聚焦线圈电流;4、电子收集器;5,调制块;6、偏置电压源;7,负载电阻;8、高频滤波器;9、同步检测块为谐波；10、控制块;11、同步检测块为谐波；12块。