在电子束焊接期间使用焦点扫描过程控制期间等离子体中的二次电流传感器

图1

在EBW区域上方形成的等离子体中的二次电子电流配准方案：1，电子枪;2，聚焦镜头;3，等离子体在焊接区上方产生;4，收藏家;5，当前注册和记忆的测量数据;6，负载电阻;7，电压源;8，焊接样品。