制备的多孔硅湿度传感元素在纸上

图7

传感元件的光学显微镜图(a)最低(0.3毫克)和(b)(1毫克)的最高spray-coated pSi的互相交叉具有银电极。也表明AFM地形图像(50μm×50μ米)边境的纸和(c)和(d)厚层薄薄的pSi。黑色方块表明AFM的捕捉点x射线物相照片。

(一)

(b)

(c)

(d)