Factors and Flexural Resonance Frequencies for Microcantilevers ">
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可压缩流体的预测模型和实验测量的比较
因素和微悬臂的弯曲共振频率
图2
光束偏转读数过程的示意图。悬臂阵列是由压电陶瓷驱动兴奋的频率发生器的信号。一个激光点集中到的PSD的悬臂偏转到表面。然后分析了PSD的输出信号的频率发生器的虚拟仪器程序导致频谱,山峰的对应于悬臂的弯曲共振模式。