研究文章
可压缩流体的预测模型和实验测量的比较因素和微悬臂的弯曲共振频率
图1
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(一)SEM图像典型的悬臂阵列用于这些测量。(b)之一的铰接端近距离观7120厚悬臂显示米长铰链连接悬臂设计主体的数组。(c), (d)两个近的观点的铰链部分2和7米厚的悬臂梁,分别。铰链大约是7的悬臂的厚度的两倍米厚的悬臂梁,大约三倍厚度在2米厚的悬臂梁。
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