18 10 12 11 μ μ 电容值的比较计算使用开发模型与实验结果的MEMS电容式麦克风,测量了在不同偏置电压,提出了(]。电容值计算出后三个偏转形状函数(,),这个模型()。麦克风由3 -米厚的隔膜,大小、声孔与刚性背面板分离空气隙约1m。