杂志上的传感器
研究文章

实时时钟应用程序的垂直MEMS谐振器

表1

塞尔玛技术参数。
结构层 1日氧化 埋聚硅 二氧化物 底物
厚度, 米 15 1.6 0.45 2.5 - - - - - -
电阻 10Ω/平方 - - - - - - 25Ω/平方 - - - - - - 1Ω/厘米