研究文章

实时时钟应用程序的垂直MEMS谐振器

图3

μ μ μ μ 实现纵向谐振器设计的例子有32 kHz固有频率。广场是454米(边)。航天飞机质量释放孔,与5。有一个正方形的形状m×5m大小和4m倒数距离。
362439. fig.003a
(一)
362439. fig.003b
(b)