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杂志上的传感器
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2010年
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实时时钟应用程序的垂直MEMS谐振器
图3
μ
μ
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实现纵向谐振器设计的例子有32 kHz固有频率。广场是454米(边)。航天飞机质量释放孔,与5。有一个正方形的形状m×5m大小和4m倒数距离。
(一)
(b)