1 频率特性的压电悬臂顶端(表),驱动电压,在空气中振动。(a)的偏转(最大峰值)是衡量使用Polytec ofv - 5000 / ofv - 505激光振动计。(b)下面的关系图显示了相应的传感电极电压有效值。