工艺参数对喷射沉积有机薄膜晶体管性能的影响

喷射沉积diF-TES ADT的SFM数据，部分覆盖电极间器件区域。(a)地形图，(b)地形导数图，(c)相移图，(d) (a)中点状区域的放大图。(e) (d)中穿过三个单步和一些一层深空位缺陷的蓝色线段轮廓线。(f)图像(d)高度直方图。