相关缺陷分析仪结合滑移与原子力显微镜测试

从拆解磁盘相关媒体的图像缺陷样本。(一)亮视场图像。缺陷很小但可以被视为斑点暗点中心的形象。(b)暗场图像。缺陷更加明显和划痕也揭示了在黑暗的背景下。(c) AFM图像之前,光泽清洁工。(d) AFM图像后光泽清洁工。