相关缺陷分析仪结合滑移与原子力显微镜测试

测试流程说明,从样本加载AFM图像。(一)加载磁盘样品卡盘。(b)滑翔缺陷映射从滑行测试。(c)的地图索引缺陷从滑翔缺陷搜索。(d) CDA AFM开关面板。一个简单的按“自动扫描”按钮将启动自动AFM扫描程序。(e)最终的AFM图像扫描的缺陷之一。