通过销对盘试验研究全氟聚醚超薄润滑膜在磁盘上的摩擦力对销表面粗糙度的影响

GCIB辐照DLC后表面粗糙度的变化。横坐标以微米表示扫描距离，纵坐标以纳米表示粗糙度振幅。