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研究文章

设计与分析宽带梯形ku波段薄膜体声波谐振器滤波器

表5

比较1 d和3 d有限元的过滤。


参数	系列FBAR		分流FBAR
参数	1 d	三维有限元	1 d	三维有限元

(pF)	0.6872	0.6837	0.0614	0.0651
(pF)	0.0351	0.0373	0.0379	0.0357
(nH)	2.86	2.69	34.616	32.897
(%)	6.06	6.36	6.54	6.51
(GHz)	15.90	15.87	14.70	14.67
(GHz)	16.30	16.30	15.10	15.12

文章奖:2020年杰出的研究贡献,选择由我们的首席编辑。获奖的文章阅读。