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研究文章

退火时间对性能的影响与ZrO OTFT的玻璃₂作为闸极介电层

表1

OTFTs的设备参数。


	0分钟	5分钟	15分钟	40分钟	60分钟

(×10⁻³厘米²/ Vs)	1.19	1.21	1.23	1.31	1.43
(V / 10)	1.53	1.45	1.11	1.03	0.8
(nA)	2.59	1.73	1.39	0.76	0.73
(×10¹³厘米⁻²)	6.89	6.51	4.92	4.54	3.47

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