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研究文章

退火时间对性能的影响与ZrO OTFT的玻璃₂作为闸极介电层

图4

μ μ ₂ AFM图像(2的扫描区域m×2米)的ZrO表面与不同退火处理时间:0分钟,15分钟(b)和(c) 60分钟。

901076. fig.004a

(一)

901076. fig.004b

(b)

901076. fig.004c

(c)

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