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研究文章
High-k /金属栅pMOSFET的可靠性的提高与各种PMA设备条件
图7
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的- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -- - - - - -曲线的C, N退火前后样品的压力。