研究文章
多层,多层螺旋电感铜在硅微亨电感使用单层光刻
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| 设计 |
名义电感(μH) @ 1 MHz |
名义上的电感(nH / mm /排放区域2@ 1 MHz |
电阻(Ω)@ 1 MHz |
(最大) |
SRF (MHz) |
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| 1 |
26.59、24.74 (7.5%) |
235.1、218.8 (7.5%) |
120.7、120.8 (0.1%) |
3.05、2.26 (35%) |
9.11、9.87 (7.7%) |
| 2 |
19.19、17.25 (11.2%) |
134.0、120.5 (11.2%) |
65.6、66.5 (1.4%) |
1.80、2.05 (12.2%) |
5.1、5.72 (10.8%) |
| 3 |
26.82、24.74 (8.5%) |
237.2、218.8 (8.5%) |
60.4、59.1 (2.2%) |
4.78、4.6 (3.9%) |
9.12、10.58 (13.8%) |
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