主动和被动电子元件
研究文章

多层,多层螺旋电感铜在硅微亨电感使用单层光刻

表1

MLSI几何变化。
设计 跟踪宽度(μ米) 跟踪厚度(μ米) 跟踪间距(μ米) 每层跟踪结果 内部直径(毫米) 外直径(毫米) 电介质层(SU-8光刻胶)(μ米) 多层电感器层 MLSI卷(毫米3)
1 150年 1.1 50 15 6 12.0 30. 3 10.54
2 200年 1.6 50 15 6 13.5 10 3 4.98
3 150年 2.1 50 15 6 12.0 30. 3 10.9