研究文章

可调的低通滤波器和RF MEMS电容和输电线路

图4

(a)的扫描电镜图像的低通滤波器(前视图)。三个狭窄的桥在双方代表可调电容。芯片尺寸(2.3毫米×1毫米)和(b)放大了电容低通滤波器的图像区域。
502465. fig.004a
(一)
502465. fig.004b
(b)