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主动和被动电子元件
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主动和被动电子元件
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2012年
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图4
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研究文章
可调的低通滤波器和RF MEMS电容和输电线路
图4
(a)的扫描电镜图像的低通滤波器(前视图)。三个狭窄的桥在双方代表可调电容。芯片尺寸(2.3毫米×1毫米)和(b)放大了电容低通滤波器的图像区域。
(一)
(b)