研究文章
的比较研究,,成为超薄界面势垒层硅金属氧化物半导体设备
图9
2
2
3
三个门栈的特点。同天IL显示SiO相比显著增加的驱动电流和艾尔O伊尔门栈。
![]() |
|
|
|
![]() |
|
|
|
![]() |
|
|
, , and BeO Ultrathin Interfacial Barrier Layers in Si Metal-Oxide-Semiconductor Devices ">