研究文章
的比较研究,,成为超薄界面势垒层硅金属氧化物半导体设备
图2
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门为SiO泄漏电流和测试结束/高频振荡器,艾尔。O(IL) /高频振荡器,成为(IL) /高频振荡器门栈。
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, , and BeO Ultrathin Interfacial Barrier Layers in Si Metal-Oxide-Semiconductor Devices ">