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k . Hafidi m . Azizan y Ijdiyaou, e . l . Ameziane, ”沉积par Pulve Risation Cathodique无线电频率等Caracte Risation Electronique、结构性等Optique de沙发切碎du Dioxyde de Titane”,主动和被动电子元件, 卷。27, 文章的ID805825年, 13 页面, 2004年。 https://doi.org/10.1080/08827510310001616885
沉积par Pulve Risation Cathodique无线电频率等Caracte Risation Electronique、结构性等Optique de沙发切碎du Dioxyde de Titane
文摘
沉积氧化钛薄膜用作光学保护器电影几个材料和作为太阳能电池的能量转换器。在这项工作中,氧化钛薄膜沉积在同单晶硅和玻璃基板由被动射频溅射。所有的存款都种植在环境温度和溅射气体是氧气和氩气的混合与整体的压力
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