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Subhi K. Salih,Hikmat S. Hilal,Iyad A. Sa'deddin,Elisabeth Sellier,Guy Campet,,,,
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我 以不同的速度退火和冷却的特征
已收到
2002年12月30日
修改
2003年3月21日
抽象的
已经研究了N-SI半导体对光电化学系统中其特性的退火的影响。退火改善了黑电流密度与潜在图。通过退火来改善表面,如SEM结果所表明的那样。还研究了冷却速率对预热的N-SI晶圆的影响。发现缓慢冷却的电极给出了更好的深色电流密度与电势图,对于低于550°C的样品而言。对于在较高温度下退火的样品,淬火给出了更好的深色密度与潜在图。SEM测量结果与这些发现相似。对于从低于550°C的温度缓慢冷却的晶片,观察到了增强的表面纹理。从高于550°C的温度中淬火的样品表现出比缓慢冷却的样品更好。
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