a- sic /c-Si(n)等异质结作为一种高灵敏度温度传感器 - raybet雷竞app,雷竞技官网下载,雷电竞下载苹果

摘要

通过测量其反向电流电压，研究了a- sic /c-Si(n)等异质结作为温度传感器的特性 ( 我 R − V ) 及反向电压-温度(V-T)特性，以及其逆电流温度依赖性。的我 R − V 特性表现出几乎恒定的电流，而相反的电流我 R 强烈依赖于T(从230公里到320公里)的V-T在不同的反向电流下，其特性显示了对a- sic /c-Si(n)连接。温度敏感性(Δ的测量值V/ΔT)_马克斯被发现(≅−-2.5 V / K)温和的温度范围,这远高于同大部分半导体温度传感器。a-SiC/c-Si的高灵敏度-温度范围n异质结可以用电控制在230k到320k的范围内。最后，这些器件的高灵敏度，加上a-SiC薄膜可以作为现有Si技术的附加组件，为制造高灵敏度温度微传感器提供了新的可能性。

有源和无源电子元件

a-SiC /同单晶硅(n异质结作为一种高灵敏度温度传感器

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