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开放获取
选择合适的显微光刻成像系统的问题
收到了
1981年4月16日
接受
1981年10月20日
摘要
考虑到定制集成电路在电子设备和其他产品中的重要性，匈牙利正在开展一项研究活动，以开发一个“最先进的”半导体开发实验室，用于技术开发和原型电路制造。这个实验室最重要的部分是电路设计、掩模制作和晶圆光刻。本文将讨论与这三部分相关的问题。
版权
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