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弗拉基米尔•Ryšanek， ＂聚硅氧烷薄膜的反常性质"，有源和无源电子元件， 卷。8， 文章的ID176098， 3. 页面， 1981． https://doi.org/10.1155/APEC.8.241
聚硅氧烷薄膜的反常性质
摘要
摘要利用电子束对甲基苯基硅氧烷薄膜进行了制备，研究了薄膜的介电常数随温度变化、电阻率随湿度变化以及介电常数随气压或氩气变化的异常特性。这些异常特性可能适用于湿度探头、压力表和微型电容器。
版权
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