材料科学与工程的发展

研究文章

改善均匀性和长宽比的反应离子刻蚀硅场致发射的技巧

表1

各向异性系数根据腐蚀参数(压力和权力)。符号在括号中属于图6。


	50毫托	70毫托	90毫托

90 W	0.58 (○)	0.55 (□)	0.43 ()
120 W	0.61 (△)	0.53 ()	- - - - - -
150 W	0.65 ()	0.51 ()	- - - - - -