研究文章

改善均匀性和长宽比的反应离子刻蚀硅场致发射的技巧

图9

μ 扫描电镜图像的发射器测量调查:(a)的高度0:9m和(b)的半径40 nm。
948708. fig.009a
(一)
948708. fig.009b
(b)