研究文章
特点及光催化性能薄膜由溅射沉积和Post-N+离子注入
表1
O、Ti、N原子的浓度,R -, M-TiO
2薄膜在几个
离子剂量。
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离子剂量 |
原子的。 |
| 一位tio2(%) |
R-TiO2(%) |
M-TiO2(%) |
| O |
“透明国际” |
N |
O |
“透明国际” |
N |
O |
“透明国际” |
N |
|
| 2.5×1015离子/厘米2 |
75.8 |
22.1 |
2.1 |
68.5 |
30.5 |
1.0 |
73.6 |
22.7 |
3.8 |
| 5.0×1015离子/厘米2 |
71.3 |
23.2 |
5.5 |
67.0 |
29.1 |
3.9 |
68.6 |
23.2 |
8.3 |
| 7.5×1015离子/厘米2 |
67.6 |
21.9 |
10.5 |
64.1 |
30.6 |
5.3 |
63.2 |
22.0 |
14.9 |
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