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材料科学与工程的发展
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材料科学与工程的发展
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2012年
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纯净的离子光束:质谱分析和仿真和大规模干扰离子注入
表2
模拟传输机制为Al coimplanted期间
植入。的能量
结果提取电压70 kV + 70千伏和能量
从一个提取电压和一个额外的加速电压70 kV质量分离后(cf图
8
)。
机制
(u)
(凯文)
(凯文)
11.329
18.5
74.1
11.204
29.1
99.1